一种玻璃基板薄膜溅射靶材的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202011284457.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112323029A | 公开（公告）日 | 2021-02-05 |
| 申请公布号 | CN112323029A | 申请公布日 | 2021-02-05 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I; | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘耀文;黄军浩 | 申请（专利权）人 | 光洋新材料科技（昆山）有限公司 |
| 代理机构 | 北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 汤东凤 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市昆山市玉山镇吴淞江工业园晨丰路南侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种玻璃基板薄膜溅射靶材的制备方法，其技术方案是：包括基料、辅料和添加料，还包括以下加工步骤：S1：将基料、辅料和添加料均通过研磨机研磨成金属粉末；S2：将S1中研磨得到的金属粉末采用球磨机均匀混合，得到混合粉末；S3：将S2中的混合粉末放入酸溶液中浸泡清洗并搅拌，而后取出烘干，一种玻璃基板薄膜溅射靶材的制备方法有益效果是：通过设置金属银和金属铂为基础原料，配以金属铜、金属金、金属钯和为辅料，同时再通过添加一定配比的金属铝、金属锰和金属锡对靶材性能改善提升，使得值得的靶材各方面性能优异均衡，耐磨耐腐蚀能力较好，同时自身强度得到提升，韧性和延展性依然保留，具有较好的可塑性和延展性。 |
