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一种镍铂合金溅射靶材及其制备方法

基本信息

申请号	CN202011286540.2	申请日	-
公开（公告）号	CN112410608A	公开（公告）日	2021-02-26
申请公布号	CN112410608A	申请公布日	2021-02-26
分类号	C22C5/04(2006.01)I;C22C1/04(2006.01)I;B22F3/14(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C22C19/03(2006.01)I	分类	冶金；黑色或有色金属合金；合金或有色金属的处理;
发明人	林泓成;黄军浩	申请（专利权）人	光洋新材料科技（昆山）有限公司
代理机构	北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	汤东凤
地址	215000江苏省苏州市昆山市玉山镇吴淞江工业园晨丰路南侧
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种镍铂合金溅射靶材及其制备方法，其技术方案是：包括铂粉和镍粉，所述铂粉和镍粉质量份数为：铂粉05‑65份，镍粉35‑95份。包括以下步骤：S1：将铂粉和镍粉混合均匀，并过滤大颗粒杂质，保留大小均等的粉末状颗粒；S2：将S1中过滤后保留下来的粉末颗粒倒入酒精内浸泡清洗，一种镍铂合金溅射靶材及其制备方法有益效果是：通过使用粉末冶金的方式，区别于传统的熔炼方法，粉末冶金得到的镍铂合金靶材具有更好的致密度，在实际使用测试中，其与基材拥有更好的附着性能，使用更加方便可靠，同时粉末冶金相对于传统熔炼方法，使得其制备成本大大降低，制备步骤得到极大优化，提高了制备效率，简化了制备流程，从而提高其经济效益。