一种银合金靶材及其制备方法

基本信息

申请号 CN202011286562.9 申请日 -
公开(公告)号 CN112323030A 公开(公告)日 2021-02-05
申请公布号 CN112323030A 申请公布日 2021-02-05
分类号 C23C14/34(2006.01)I; 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 林泓成;黄军浩 申请(专利权)人 光洋新材料科技(昆山)有限公司
代理机构 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 汤东凤
地址 215000江苏省苏州市昆山市玉山镇吴淞江工业园晨丰路南侧
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种银合金靶材及其制备方法,其技术方案是:包括金属银、金属元素添加剂、稀土元素添加剂和非金属元素添加剂,其中各成分质量份数为:金属银:90‑99份,金属元素添加剂:1‑3份,稀土元素添加剂:0.001‑0.1份,所述金属银纯度至少为99.99%,一种银合金靶材及其制备方法有益效果是:通过将金属银、金属元素添加剂、稀土元素添加剂添加剂按一定配比进行熔炼得到银合金靶材,使得制得的银合金靶材相对于传统银合金靶材具有更加优异的性能,其与基材的附着能力得到极大提升,从而使得本发明制得的银合金靶材在实际使用中,也将具有更大的优势,对基材具有更为优秀的附着能力,使用中将更加可靠。