硅块清洗方法和应用

基本信息

申请号 CN201810937517.1 申请日 -
公开(公告)号 CN108946738B 公开(公告)日 2022-04-19
申请公布号 CN108946738B 申请公布日 2022-04-19
分类号 C01B33/037(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 秦榕;曹文海;李永红;张永辉;张永良;刘虎;孟海生;安生虎;刘生章;高鹏;危胜 申请(专利权)人 国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司
代理机构 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 吴开磊
地址 810000青海省西宁市经济技术开发区二期
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种硅块清洗方法和应用,属于硅块清洗技术领域。本发明提供了一种硅块清洗方法,包括依次进行的酸洗、漂洗、冷浸泡和热浸泡;其中,酸洗所用的酸液包括硝酸和氢氟酸,所述酸洗依次在硝酸比例梯度增加的三种酸液中进行,第一次酸洗所用的酸液为硝酸:氢氟酸=9‑11:1v/v。本发明清洗方法利用硝酸比例梯度增加的三种酸液依次对硅块进行酸洗,优化了硅块清洗工艺,提高了硅料酸洗效率和产品质量,缓解了单一配比酸液池清洗造成的酸洗不均匀、出现酸斑和色差、表金属杂质含量高和金属杂质含量波动大的技术问题。