首页/ 苏州欣溪源新材料科技有限公司/ 专利详情

胺钛化合物及其制备方法

基本信息

申请号 CN202010128592.0 申请日 -
公开（公告）号 CN111253433A 公开（公告）日 2020-06-09
申请公布号 CN111253433A 申请公布日 2020-06-09
分类号 C07F7/28(2006.01)I 分类 有机化学〔2〕;
发明人 周健;黄艺 申请（专利权）人 苏州欣溪源新材料科技有限公司
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 代理人 苏州欣溪源新材料科技有限公司
地址 215000江苏省苏州市张家港保税区石化交易大厦1120-3室
法律状态 -

摘要

摘要 一种胺钛化合物及其制备方法，属于有机化学技术领域。该胺钛化合物的制备方法包括以下步骤：(1)将烷烃溶剂和二烷基胺混匀，在低温下滴加正丁基锂，在室温下搅拌后得到溶解有二烷基氨基锂的烷烃乳浊液；(2)在低温下向步骤1制得的烷烃乳浊液中滴加四氯化钛，滴加完毕后升温进行反应，制得四(二烷基氨基钛)；(3)在低温下向步骤2制得的四(二烷基氨基钛)中滴加肼，滴加完毕后进行升温反应，之后减压蒸馏并收集得到馏分1，2‑三(二烷基胺基)钛‑肼。本发明高收率低成本，利于工业上量化生产，产品稳定性好，有利于经原子层沉积形成含钛膜，尤基是良好的氮化钛薄膜。