一种单晶硅棒生产用长度测量装置
基本信息
| 申请号 | CN201821267258.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208419812U | 公开（公告）日 | 2019-01-22 |
| 申请公布号 | CN208419812U | 申请公布日 | 2019-01-22 |
| 分类号 | G01B5/02 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 贠书印;罗园;高贻刚;李一得 | 申请（专利权）人 | 内蒙古赛宝伦科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 010000 内蒙古自治区呼和浩特市经济技术开发区沙尔沁工业园开放大街沙尔沁工业区建设指挥部办公大楼0402-01号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种单晶硅棒生产用长度测量装置，包括主支柱，所述主支柱的一侧放置有生产台，所述主支柱的中段外侧壁上套接有限位环，所述限位环的上端与生产台的水平工作平面平齐，所述限位环的上方位置设置有滑块架，所述滑块架滑动安装在主支柱的外侧端。本实用新型设置滑块架和提板，可以在单晶硅等径生长过程中保证其垂直，形状规则，不破坏晶体硅的结构构造，对产品保护性更高；设置了压力弹簧、压力传感器和数码显示器，能够在单晶硅棒生产工艺过程中直接得出硅棒圆柱主体所拉升的长度以及锥尖的高度，并且测量的长度精确度高，误差小，并且设置有校零装置，使用操作都极为方便，省去了大量繁琐的工作。 |
