一种单晶硅加工用具有冷却装置的水环真空泵
基本信息
| 申请号 | CN201821245632.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208587296U | 公开（公告）日 | 2019-03-08 |
| 申请公布号 | CN208587296U | 申请公布日 | 2019-03-08 |
| 分类号 | F04C19/00（2006.01）I; F04C25/02（2006.01）I; F04C29/00（2006.01）I; F04C29/04（2006.01）I; B01D46/24（2006.01）I | 分类 | 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵; |
| 发明人 | 贠书印; 陶建涛; 高贻刚; 李婷 | 申请（专利权）人 | 内蒙古赛宝伦科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 010000 内蒙古自治区呼和浩特市经济技术开发区沙尔沁工业园开放大街沙尔沁工业区建设指挥部办公大楼0402-01号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种单晶硅加工用具有冷却装置的水环真空泵，包括水环真空泵本体，所述水环真空泵本体的底部固定安装有固定座，且水环真空泵本体的一侧设置有制冷水箱，所述固定座的内部安装有减震器，且固定座的上表面设置有压缩泵，所述压缩泵的一侧安装有驱动电机。本实用新型结构科学合理，操作方便，通过过滤器能够对吸气口吸入的气体进行过滤净化，利用过滤网吸附其中的固体颗粒及腐蚀气体，使设备处于一个较为安全的环境下工作，降低设备工作过程中的腐蚀及硬性撞击现象，延长水环真空泵的使用寿命，通过制冷水箱，能够利用半导体制冷片和半导体导冷片对箱体中的水进行降温处理，实现水环真空泵工作水的冷却。 |
