一种用于生产单晶硅棒的直拉式硅单晶炉
基本信息
申请号 | CN201821245713.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN208632693U | 公开(公告)日 | 2019-03-22 |
申请公布号 | CN208632693U | 申请公布日 | 2019-03-22 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I; C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 贠书印; 罗园; 陶建涛; 高贻刚; 李婷 | 申请(专利权)人 | 内蒙古赛宝伦科技有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 010000 内蒙古自治区呼和浩特市经济技术开发区沙尔沁工业园开放大街沙尔沁工业区建设指挥部办公大楼0402-01号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种用于生产单晶硅棒的直拉式硅单晶炉,包括炉体,所述炉体的上表面设置有冷凝水注入口,且炉体的上表面靠近冷凝水注入口一侧位置处设置有冷凝水排出口,所述炉体的外部安装有防护装置,且炉体的外部靠近防护装置下方位置处设置有限位块,本实用新型中底座和干燥剂的设置,增加了炉体放置时的稳定性,使得炉体底部处于干燥的环境中,避免潮湿环境的因素而锈蚀,具备良好的保护性;冷凝水注入口和冷凝水排出口的设置,能够对炉体进行快速降温,提高了炉体的使用寿命;防护装置的设置,能够对炉体进行防护,避免工作时炉体对人员造成烫伤,还可以对炉体进行保护,该单晶炉设计合理,操作简单,消耗成本低,便于推广。 |
