一种直拉单晶炉副室提升保护结构

基本信息

申请号 CN201821267430.X 申请日 -
公开(公告)号 CN208632694U 公开(公告)日 2019-03-22
申请公布号 CN208632694U 申请公布日 2019-03-22
分类号 C30B15/00;C30B35/00 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 段瑞;贠书印;刘世峰;高贻刚 申请(专利权)人 内蒙古赛宝伦科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 010000 内蒙古自治区呼和浩特市经济技术开发区沙尔沁工业区开放大街审图中心主楼3007-2
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种直拉单晶炉副室提升保护结构,其包括设于隔离阀的摇臂上的倾侧开关KR、三相交流电源、真空泵电机M1、副室电机M2、真空泵电机接触器、副室关闭接触器、副室打开接触器、真空泵启动按钮K0、真空泵停止按钮K1、副室关闭按钮K2以及副室打开按钮K3。本实用新型在不影响正常打开副室提取晶棒的情况下,可以有效避免在拉晶过程中,当隔离阀没有关闭的情况下,限制其打开副室,避免了由工作人员误操作而引发的事故;由于倾侧开关生产成本相对低、且安装方便,故使本实用新型的成本也相对降低,仅有20元人民币左右,大大地降低了生产成本,提高了企业的生产效益;且倾侧开关的灵敏度较高,可保证本实用新型可靠稳定的运行。