一种用于探测器芯片的吸取装置及方法

基本信息

申请号 CN202110539828.4 申请日 -
公开(公告)号 CN113394154A 公开(公告)日 2021-09-14
申请公布号 CN113394154A 申请公布日 2021-09-14
分类号 H01L21/683(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 黄祥恩;陈春明;陈屹丹;韩庆辉 申请(专利权)人 桂林芯飞光电子科技有限公司
代理机构 桂林文必达专利代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 张学平
地址 541000广西壮族自治区桂林市七星区朝阳路北侧、信息产业园内D-14号地块
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种用于探测器芯片的吸取装置及方法,支撑组件的底座和支架连接,移动组件的水平移动器上设置第一气缸,第一滑块和第一气缸的伸缩杆连接,吸取组件的真空泵设置在支架一侧,吸头的连接管和第一滑块固定,橡胶柱、滑杆和吸板依次设置在连接管上,调节环和连接管螺纹连接,在调节环和吸板之间设置缓冲弹簧。转动调节环对缓冲弹簧提供给吸板的支撑力进行调整,从而可以使得接触芯片时产生的接触力更加平缓,另外通过橡胶环可以吸收水平方向的冲击,通过弯曲而吸收冲击,冲击消除后可以恢复原位,从而可以很好地对芯片进行保护,避免芯片在移动过程中损坏,解决现有芯片在吸取时容易受力过度而损坏的问题。