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一种硅晶片清洗装置及其工艺

基本信息

申请号 CN201910675350.0 申请日 -
公开（公告）号 CN112309886A 公开（公告）日 2021-02-02
申请公布号 CN112309886A 申请公布日 2021-02-02
分类号 H01L21/67(2006.01)I; 分类 基本电气元件;
发明人 陈春成;戚建静 申请（专利权）人 江苏晶品新能源股份有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 225600江苏省扬州市高邮市送桥镇天山工业集中区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了硅晶片技术领域的一种硅晶片清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱的底部四角处均设置有支脚，所述清洗箱的底部左侧外壁上通过支架安装有电机，所述电机的右侧动力端上安装有转轴，且转轴的右侧端部贯穿清洗箱的外壁通过两组相互啮合的锥形齿轮与转杆的底部连接，所述转杆的底部外壁上通过轴承套接有固定板，且转杆的上部外壁上通过轴承插接在防水板的内腔中，且固定板和防水板均固定安装在清洗箱的左侧内壁上，该硅晶片清洗工艺，通过夹持装置，可以将待清洗的硅晶片进行稳定的夹持，避免在清洗过程中出现脱落损坏的现象，通过纯水、柠檬酸水和碱水依次对硅晶片进行清洗操作，有效的提高了硅晶片的清洗效率。