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MEMS麦克风及其微机电结构

基本信息

申请号 CN202120396938.5 申请日 -
公开（公告）号 CN214281654U 公开（公告）日 2021-09-24
申请公布号 CN214281654U 申请公布日 2021-09-24
分类号 H04R19/00（2006.01）I;H04R19/04（2006.01）I 分类 电通信技术;
发明人 荣根兰;孙恺;孟燕子;胡维 申请（专利权）人 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
代理机构 北京成创同维知识产权代理有限公司 代理人 李向英
地址 215123江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号NW-09楼102室
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了一种MEMS麦克风及其微机电结构，该微机电结构包括第一背极板；第二背极板，位于第一背极板上；振动膜，位于第一背极板与第二背极板之间，振动膜与第一背极板构成第一可变电容，并与第二背极板构成第二可变电容；第一支撑部，位于第一背极板与振动膜之间，并分别与第一背极板和振动膜固定连接；第二支撑部，位于第二背极板与振动膜之间，并分别与第二背极板和振动膜固定连接，其中，第一支撑部沿振动膜的边缘向振动膜的中心方向凸出于第二支撑部。该微机电结构通过使得第一支撑部沿振动膜的边缘向中心方向凸出于第二支撑部，从而改善了由于振动膜的应力不一导致差分信号的一致性较差的问题。