惯性传感器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110791961.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113401862A | 公开（公告）日 | 2021-09-17 |
| 申请公布号 | CN113401862A | 申请公布日 | 2021-09-17 |
| 分类号 | B81B7/04（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 庄瑞芬;胡维;李刚 | 申请（专利权）人 | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京布瑞知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王海臣 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号NW9楼102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种惯性传感器及其制备方法，解决了现有技术中批量生产的惯性传感器的性能均一性较差和电互联难度高的问题。其中，惯性传感器的制备方法包括：提供第一基板，第一基板包括第一导电层；提供第二基板，第二基板包括第一衬底，第一衬底的材料为单晶材料；将第一导电层和第一衬底结合在一起，形成结合界面；形成可动元件，可动元件包括至少部分第一衬底。 |
