压力传感器
基本信息
| 申请号 | CN202120442198.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214277274U | 公开（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申请公布号 | CN214277274U | 申请公布日 | 2021-09-24 |
| 分类号 | G01L9/06（2006.01）I;G01L1/18（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 吕萍;胡维;李刚 | 申请（专利权）人 | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京布瑞知识产权代理有限公司 | 代理人 | 秦卫中 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号NW9楼102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种压力传感器，该压力传感器包括：衬底，衬底中设置有收容腔；压力传感器主体，设置在收容腔中；第一梁结构，设置在收容腔中，并连接压力传感器主体与衬底，使得压力传感器主体悬浮于收容腔中；阻挡层，设置在压力传感器主体远离衬底的一侧，阻挡层靠近衬底的表面上设置有第一凸起状结构。本申请实施例提供的压力传感器能够有效地提高压力传感器的可靠性和抗冲击性。 |
