骨传导传感器芯片
基本信息
申请号 | CN202110616380.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113277464A | 公开(公告)日 | 2021-08-20 |
申请公布号 | CN113277464A | 申请公布日 | 2021-08-20 |
分类号 | B81B7/02(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
发明人 | 徐復;梅嘉欣;庄瑞芬 | 申请(专利权)人 | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
代理机构 | 北京布瑞知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王海臣 |
地址 | 215000江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号NW9楼102室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本申请提供了一种骨传导传感器芯片,解决了现有技术中的骨传导传感器芯片的灵敏度不稳定的问题。其中,骨传导传感器芯片包括:振动膜;质量块,位于振动膜的一侧;以及止挡结构,用于限制质量块在平行于振动膜的方向上的振动幅度。 |
