一种硅片清洗电控机构中的净化系统
基本信息
| 申请号 | CN202120120740.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215142728U | 公开（公告）日 | 2021-12-14 |
| 申请公布号 | CN215142728U | 申请公布日 | 2021-12-14 |
| 分类号 | B08B3/08（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;B01D53/40（2006.01）I;B01D53/42（2006.01）I;H05K7/20（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 艾传令;孙毅;李天龙;刘继明;田志伟;贾焕营;于浩;史丹梅;尹腾 | 申请（专利权）人 | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 代理机构 | 天津诺德知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 栾志超 |
| 地址 | 300384天津市滨海新区华苑产业区（环外）海泰东路12号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种硅片清洗电控机构中的净化系统，包括电控部、降温部和处理部，所述降温部向所述电控部内通入低温无害气体，以使所述电控部内部的温度在恒定范围内；同时所述处理部可向所述电控部中通入其所需的酸和/或碱气体，以使所述电控部内的清洗药液被中和处理，再被排出所述电控部外，以净化所述电控部中电器元件的工作环境。本实用新型结构设置简单，易于控制，实用性强且净化效率高；不仅可去除电气柜中的酸碱液体以及水蒸汽液体，而且还可将电气柜中的温度降温散热，使电器元件始终在一定温度下稳定且安全地工作；自动化程度高，可确保电控部中所有电器元件工作环境的净化，提升电气元件工作的稳定性，降低生产成本。 |
