一种硅片清洗承载装置
基本信息
| 申请号 | CN202020845447.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212494238U | 公开（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申请公布号 | CN212494238U | 申请公布日 | 2021-02-09 |
| 分类号 | B08B3/04(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 古元甲;史丹梅;赵朋占;辛超;刘沛然;王少刚;田志民;孙毅;艾传令;郝红月;兰爽 | 申请（专利权）人 | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 代理机构 | 天津诺德知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 栾志超 |
| 地址 | 300384天津市滨海新区华苑产业区(环外)海泰东路12号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种硅片清洗承载装置，具有相对设置的侧板和端板，所述侧板高度方向设有若干贯穿其厚度的插槽；所述插槽上端面和下端面均为斜面；所述插槽最大宽度不小于硅片直径；所述插槽上端面宽度不小于所述插槽下端面宽度。本实用新型提出的清洗承载装置，适用多种尺寸规格的硅片承载，最大限度地提高溶液流通的效率，加速硅片清洗，提高清洗质量，高效的溶液流通可进一步减小承载装置的变形，提高承载装置的使用寿命；同时还易于生产过程中自动化识别的控制，且通用性强，适用于插片和清洗过程中工装夹具的固定。 |
