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真空充气燃料炉

基本信息

申请号 CN201220050327.6 申请日 -
公开（公告）号 CN202482493U 公开（公告）日 2012-10-10
申请公布号 CN202482493U 申请公布日 2012-10-10
分类号 C30B35/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 静枫;静宇 申请（专利权）人 吉林省赛尔光电技术有限公司
代理机构 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 代理人 魏征骥
地址 130062 吉林省长春市绿园经济开发区金鹏路1000号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种真空充气燃料炉，属于晶体材料生产领域。电极与烧料炉内部固定连接，烧料炉与炉架固定连接，高真空管道一端与烧料炉下端固定连接，高真空管道另一端通过扩散泵进口法兰与扩散泵固定连接，扩散泵通过扩散泵出口法兰与低真空管道固定连接，低真空管道通过罗茨泵进口法兰与罗茨泵固定连接，罗茨泵通过罗茨泵出口法兰与低真空管道固定连接，低真空管道与牵引电磁铁固定连接，牵引电磁铁通过泵阀连接件与机械泵固定连接，空气阀与高真空管道固定连接，真空蝶阀安装在高真空管道中部，压力真空表与高真空管道固定连接。优点在于：结构新颖，使晶体生长在真空系统中进行，保证了晶体的成品率，提高了难熔性物质的结晶质量。