一种探测方法及装置
基本信息
申请号 | CN201911284902.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112985573A | 公开(公告)日 | 2021-06-18 |
申请公布号 | CN112985573A | 申请公布日 | 2021-06-18 |
分类号 | G01H9/00 | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 陈伟;吴雷;张大会 | 申请(专利权)人 | 广东中庆明阳精密智能制造有限公司 |
代理机构 | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 高姗 |
地址 | 215000 江苏省苏州市吴江区顺风路东侧龙桥路西侧 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明所提供的一种探测方法和装置,获取第一光束;所述第一光束通过延迟线干涉仪获取;根据所述第一光束,获得正交信号;对所述正交信号进行差分放大,获得频漂补偿值;通过所述频漂补偿值与原始测量信号进行计算,得到频漂补偿后的测量值,从而增强探测精度。 |
