基于微球的反射式高分辨显微成像系统
基本信息
| 申请号 | CN201921305129.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210323558U | 公开（公告）日 | 2020-04-14 |
| 申请公布号 | CN210323558U | 申请公布日 | 2020-04-14 |
| 分类号 | G02B21/02(2006.01)I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 万新军;陶雪辰;苏程程;陈红豆;宋可;吕宋;解树平 | 申请（专利权）人 | 苏州瑞霏光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州周智专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 苏州瑞霏光电科技有限公司 |
| 地址 | 215400江苏省苏州市太仓市娄东街道北京东路88号东B幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种基于微球的反射式高分辨显微成像系统，包括微球、显微摄像模块、接收端和激发光源，所述微球放置于样品的上表面，所述微球上覆盖一盖玻片，所述显微摄像模块位于样品的正上方，所述激发光源位于所述显微摄像模块的一侧；所述显微摄像模块包括第一透镜组、反射式照明结构、第二透镜组和图像传感器，所述第一透镜组和所述第二透镜组对称设置，所述图像传感器与所述接收端电性连接，所述激发光源发出的光源照射于所述反射式照明结构上。本实用新型具有分辨率高、体积小、结构简单、成本低、稳定性高、模块化等优点，适用于测试硅片、半导体等不透明样品。 |
