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一种超高纯度氧化亚氮的回收方法

基本信息

申请号	CN201610436372.8	申请日	-
公开（公告）号	CN107512708A	公开（公告）日	2017-12-26
申请公布号	CN107512708A	申请公布日	2017-12-26
分类号	C01B21/22(2006.01)I	分类	无机化学;
发明人	钟少勇;王新鹏;赵伟庆	申请（专利权）人	山东绿菱电子材料有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	274500 山东省东明县城北外环路中段
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种超高纯度氧化亚氮的回收方法，该包括如下步骤：步骤S1，将含有氧化亚氮的尾气依次经过一级水洗装置和两级有机溶剂洗涤装置进行三级洗涤处理；步骤S2，将尾气经换热器进行冷却处理；步骤S3，将尾气依次经变压吸附装置和变温吸附装置进行两级吸附处理；步骤S4，将尾气依次经一级精馏塔和二级精馏塔进行两级精馏处理。由于本发明的各个步骤有机协同配合，因此能够彻底分离尾气中氧化亚氮，从而得到纯度不低于99.99999％的超高纯度氧化亚氮气体，不仅满足工业及实验室中对于超过纯度氧化亚氮的需求，而且大幅度减少了因氧化亚氮的排放而对环境造成的污染；本发明的方法将氧化亚氮回收利用，从而避免了浪费，节约了资源。