一种平面靶靶材屏蔽装置
基本信息
| 申请号 | CN202120435997.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214736057U | 公开（公告）日 | 2021-11-16 |
| 申请公布号 | CN214736057U | 申请公布日 | 2021-11-16 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王慧明;徐浩 | 申请（专利权）人 | 长利玻璃洪湖有限公司 |
| 代理机构 | 武汉江楚智汇知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 矫娅琳 |
| 地址 | 430024湖北省武汉市武汉经济技术开发区新滩新区白斧池路特1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种平面靶靶材屏蔽装置，其不同之处在于：其包括压条、弹性卡接件、屏蔽条、及插件；压条开设有间隔设置的若干个圆形第一插孔，各第一插孔的孔壁分别开设有内外贯通的若干个卡孔，各卡孔的外端分别形成有内螺纹、内端分别形成有收口，各卡孔内分别设置有弹性卡接件；弹性卡接件包括由内至外依次设置的钢球、弹簧、及与卡孔的内螺纹旋接的弹簧限位螺母，钢球的顶部从收口处漏出；屏蔽条覆盖在压条的下表面，屏蔽条开设有与各第一插孔一一对应的第二插孔，各第二插孔与对应的第一插孔内分别共同插接有被构造成圆柱体形的插件；各插件的外周分别开设有配合对应钢球卡接的环形槽。本实用新型避免溅射物沉积到沉孔内。 |
