一种处理半导体激光器的方法

基本信息

申请号 CN202110008867.1 申请日 -
公开(公告)号 CN114724937A 公开(公告)日 2022-07-08
申请公布号 CN114724937A 申请公布日 2022-07-08
分类号 H01L21/268(2006.01)I;H01S5/00(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 单小婷;赵发展;孙昀;王磊;李博;高见头;罗家俊;滕瑞 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所
代理机构 北京华沛德权律师事务所 代理人 -
地址 100029北京市朝阳区北土城西路3号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种处理半导体激光器的方法,该方法包括:在半导体激光器的制备过程中,利用预设辐照源对半导体激光器进行辐照处理,以提高所述半导体激光器的调制带宽,其中,所述辐照源为粒子辐照源。通过在半导体激光器的制备过程中,利用预设辐照源对半导体激光器进行辐照处理,从而实现在不影响半导体激光器其他性能的情况下,以更为简单和低成本的方法,提高半导体激光器的调制带宽,有利于优化半导体激光器的动态性能。