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晶圆高效抓取装置

基本信息

申请号 CN202021685056.2 申请日 -
公开（公告）号 CN213106896U 公开（公告）日 2021-05-04
申请公布号 CN213106896U 申请公布日 2021-05-04
分类号 B25J15/06;B25J15/00;B25J15/10 分类 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手;
发明人 李佳森;裴文龙;陈晨;张少阳;谷晓东 申请（专利权）人 苏州芯矽电子科技有限公司
代理机构 南京艾普利德知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 陆明耀
地址 215000 江苏省苏州市工业园区江浦路41号1栋
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型揭示了一种晶圆高效抓取装置，包括呈圆柱状的基座，所述基座外圆周面的四周均布有一组抓取块，所述抓取块上固设有一滑杆，所述滑杆至少部分贯穿所述基座延伸置于所述基座的容置腔内，所述基座上固设有一可上下移动的驱动件，所述驱动件可驱动所述抓取块面向或背向所述基座的中轴线移动；所述基座的底部还固设有一吹气板，所述吹气板上还设有吹气孔。本实用新型的有益效果主要体现在：该装置在将晶圆抓取时，吹气孔与晶圆之间有气体流动，产生微小的间隙，从而使得晶圆与基座之间不直接接触，减少对晶圆的污染，降低在抓取时对晶圆的损坏，提高良品率。