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晶圆全自动抓取装置

基本信息

申请号 CN202021686391.4 申请日 -
公开（公告）号 CN213106897U 公开（公告）日 2021-05-04
申请公布号 CN213106897U 申请公布日 2021-05-04
分类号 B25J15/06;B25J15/10;B25J15/00 分类 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手;
发明人 李佳森;裴文龙;陈晨;张少阳;谷晓东 申请（专利权）人 苏州芯矽电子科技有限公司
代理机构 南京艾普利德知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 陆明耀
地址 215000 江苏省苏州市工业园区江浦路41号1栋
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型揭示了一种晶圆全自动抓取装置，包括抓取盘以及固设在所述抓取盘上的支撑座，所述支撑座上通过轴承套设有一固定座，所述固定座上设有至少两个呈对称结构设置且通过连杆组件与其连接的抓取件，所述抓取件可在所述抓取盘上同步面向或背向所述支撑座移动；所述抓取盘上固设有一与其同心的吸附盘，所述吸附盘上设有吹气孔。本实用新型的有益效果主要体现在：该装置在将晶圆抓取时，吹气孔与晶圆之间有气体流动，产生微小的间隙，从而使得晶圆与基座之间不直接接触，减少对晶圆的污染，降低在抓取时对晶圆的损坏，提高良品率。