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一种用于晶圆干燥工艺中的氮气加热器

基本信息

申请号 CN202021685052.4 申请日 -
公开（公告）号 CN212930912U 公开（公告）日 2021-04-09
申请公布号 CN212930912U 申请公布日 2021-04-09
分类号 F26B21/14;F26B21/10;F26B25/00 分类 干燥;
发明人 高翔鹰;裴文龙;陈晨;张少阳;谷晓东 申请（专利权）人 苏州芯矽电子科技有限公司
代理机构 南京艾普利德知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 陆明耀
地址 215000 江苏省苏州市工业园区江浦路41号1栋
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于晶圆干燥工艺中的氮气加热器，包括支撑板，所述支撑板的上表面通过螺丝螺纹连接有箱体，所述箱体的前表面安装有压力传感器，所述箱体的内侧壁固定连接有隔板，所述箱体的内侧壁固定连接有第一固定板，所述第一固定板的一侧安装有内联加热器，所述内联加热器的两端均均匀安装有红外线加热管，所述箱体的内侧壁连通有第一管体，所述第一管体的一端贯穿所述箱体的外侧壁，所述第一管体的一端贯穿所述隔板的外侧壁且连通于所述内联加热器的进气口，在本装置的使用当中，通过压力调节阀和流量计的配合使用，可以使得氮气在加热的过程当中，流量的可控，可视，便于工作人员的调整。