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晶圆盒全自动夹持装置

基本信息

申请号 CN202021685055.8 申请日 -
公开（公告）号 CN212934570U 公开（公告）日 2021-04-09
申请公布号 CN212934570U 申请公布日 2021-04-09
分类号 H01L21/677 分类 基本电气元件;
发明人 高翔鹰;裴文龙;陈晨;张少阳;谷晓东 申请（专利权）人 苏州芯矽电子科技有限公司
代理机构 南京艾普利德知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 陆明耀
地址 215000 江苏省苏州市工业园区江浦路41号1栋
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型揭示了一种晶圆盒全自动夹持装置，包括机架，所述机架上设有一可沿其轴线上下移动的驱动壳体，所述驱动壳体上枢轴设有夹持轴，所述夹持轴上设有用以将晶圆盒夹持的夹持件，所述夹持轴可由设置在所述驱动壳体内的驱动组件驱动其相向或相背转动。本实用新型的有益效果主要体现在：夹持件同步相向或相背转动，工作速度一致，能同时夹持晶圆盒且不会将晶圆盒碰倒；晶圆盒受力均匀，不会发生损坏或破损的情况，延长使用寿命；同时，驱动壳体可由传动丝杆通过传动螺母驱动其上下移动，可精准的控制驱动壳体移动的位置，避免抓取过程出现偏差的情况。另外，该操作工作平稳可靠，避免失误的产生。