石英管逐级清洗装置

基本信息

申请号 CN201921444092.7 申请日 -
公开(公告)号 CN210788393U 公开(公告)日 2020-06-19
申请公布号 CN210788393U 申请公布日 2020-06-19
分类号 B08B3/08(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I 分类 -
发明人 白忠华;张少阳;裴文龙;陈晨;吴军 申请(专利权)人 苏州芯矽电子科技有限公司
代理机构 南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 苏州芯矽电子科技有限公司
地址 215000江苏省苏州市工业园区江浦路41号1栋
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型揭示了一种石英管逐级清洗装置,包括机架,所述机架上设有三个以上并列横置的清洗池和用以将石英管夹持的夹持组件,所述夹持组件可由驱动组件驱动其相对所述清洗池上下移动;所述机架上还设有用以将所述清洗池密封的封箱组件和用以驱动所述驱动组件前后水平滑动的滑动组件,所述滑动组件的移动方向与所述清洗池的中轴线垂直。本实用新型的有益效果主要体现在:设计精巧,该装置采用三个清洗池,可实现逐级清洗,在清洗过程中转轮带动石英管转动,从而进一步提高清洗液对石英管内壁的清洗能力,提高清洗合格率,另外,清洗液过程中不消耗清洗液,极大程度上降低了成本,提高清洗效率。