晶圆盒高安全性全自动夹持装置
基本信息
| 申请号 | CN202021686397.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212934571U | 公开（公告）日 | 2021-04-09 |
| 申请公布号 | CN212934571U | 申请公布日 | 2021-04-09 |
| 分类号 | H01L21/677 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 高翔鹰;裴文龙;陈晨;张少阳;谷晓东 | 申请（专利权）人 | 苏州芯矽电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京艾普利德知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 陆明耀 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市工业园区江浦路41号1栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型揭示了一种晶圆盒高安全性全自动夹持装置，包括支撑板以及设置在其上可沿其中轴线滑动的机架，所述机架上设有一可沿其轴线上下移动的驱动壳体，所述驱动壳体上设有用以将晶圆盒夹持的夹持件，所述驱动壳体上绕设有一安全绳，所述安全绳的一端延伸置于所述机架的一侧，另一端与设置在所述机架另一侧上的触发组件连接。本实用新型的有益效果主要体现在：结构简单，设计精巧，操作员在维修维护过程中发现夹持装置意外启动时，可紧急拉动安全绳，从而使得高精度光电开关断开，此时，驱动电机和伺服电机同时停止工作，确保操作员的人生安全。 |
