一种低噪声的SOA-PIN集成光探测器

基本信息

申请号 CN201910638464.8 申请日 -
公开(公告)号 CN110336184B 公开(公告)日 2021-03-12
申请公布号 CN110336184B 申请公布日 2021-03-12
分类号 H01S5/34(2006.01)I;H01S5/042(2006.01)I;H01S5/06(2006.01)I;H04B10/69(2013.01)I;H01S5/12(2021.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李洵;董智星;周玉兰;王衡;赵佳;杜刘革;王作佳;黄卫平 申请(专利权)人 上海曼光信息科技有限公司
代理机构 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 代理人 刘娜
地址 266200山东省青岛市即墨区鳌山卫街道滨海路72号山东大学青岛校区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种低噪声的SOA‑PIN集成光探测器,沿信号光传播方向依次包括:SOA部分、PIN部分和全反射镜,所述SOA部分和PIN部分底部共用同一底部电极,顶部为独立设置的SOA顶部电极和PIN顶部电极,全反射镜位于PIN部分的的外侧,所述SOA部分包括光栅空间滤波结构层,其方向为沿着信号光的传播方向,本发明所公开的低噪声的SOA‑PIN集成光探测器体积小、成本较低、适合大规模生产,具有很好的滤除噪声、提高信噪比的作用。