多晶硅生产用氢气、除杂方法及系统、多晶硅生产方法及系统
基本信息
| 申请号 | CN202110501053.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113321183A | 公开（公告）日 | 2021-08-31 |
| 申请公布号 | CN113321183A | 申请公布日 | 2021-08-31 |
| 分类号 | C01B3/52（2006.01）I;C01B3/50（2006.01）I;C30B35/00（2006.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 武珠峰;吴昌勇;宋高杰;张治锦;刘兴平;宋正平;潘从伟 | 申请（专利权）人 | 新特能源股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 罗建民;邓伯英 |
| 地址 | 014100内蒙古自治区包头市土默特右旗新型工业园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种多晶硅生产用氢气、除杂方法及系统、多晶硅生产方法及系统，除杂方法包括以下步骤：将多晶硅生产用氢气通入沸腾的三氯氢硅中，以使其内部分水与三氯氢硅反应，从三氯氢硅中逸出的气相再与喷淋而下的雾化的三氯氢硅接触，以使其内剩余水蒸气与三氯氢硅反应，得到除水的气相；所述除水的气相再经冷凝，以将其内的汽化三氯氢硅液化，得到除杂的多晶硅生产用氢气。本发明能在不引入外界杂质的前提下，将多晶硅生产用氢气中的水分干燥至1PPm以下。 |
