一种三氯氢硅合成方法及系统
基本信息
| 申请号 | CN202110500760.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113387363A | 公开（公告）日 | 2021-09-14 |
| 申请公布号 | CN113387363A | 申请公布日 | 2021-09-14 |
| 分类号 | C01B33/107（2006.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 武珠峰;夏进京;刘兴平;吴昌勇;马金杉;潘从伟 | 申请（专利权）人 | 新特能源股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 罗建民;邓伯英 |
| 地址 | 014100内蒙古自治区包头市土默特右旗新型工业园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种三氯氢硅合成方法，将硅粉原料经流化进行冷氢化反应合成三氯氢硅，得到冷氢化合成反应混合气；先分离出冷氢化反应后的冷氢化合成反应混合气中的大颗粒硅粉，得到第一除尘气,并将所述大颗粒硅粉返回到流化过程中继续进行冷氢化反应；再分离出所述第一除尘气中的小颗粒硅粉，得到三氯氢硅；将所述小颗粒硅粉与氯化氢进行氯化反应生成三氯氢硅。本发明还公开一种三氯氢硅合成系统。本发明可实现硅粉高效率利用，降低硅单耗。 |
