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制备三氯氢硅的方法及系统

基本信息

申请号 CN202110500338.3 申请日 -
公开（公告）号 CN113387361A 公开（公告）日 2021-09-14
申请公布号 CN113387361A 申请公布日 2021-09-14
分类号 C01B33/107（2006.01）I 分类 无机化学;
发明人 武珠峰;宋高杰;夏进京;刘兴平;吴昌勇;马金杉;潘从伟 申请（专利权）人 新特能源股份有限公司
代理机构 北京天昊联合知识产权代理有限公司 代理人 罗建民;张萍
地址 014100内蒙古自治区包头市土默特右旗新型工业园区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种制备三氯氢硅的方法及系统，该方法包括以下步骤：将四氯化硅、二氯二氢硅、氯化氢通入反应精馏塔内，在催化剂的催化作用下，四氯化硅、二氯二氢硅发生反歧化反应，生成三氯氢硅，氯化氢抑制由二氯二氢硅为原料生成硅烷，再精馏，分离出三氯氢硅，在反应精馏塔的塔顶得到反应精馏塔塔顶排出物。通过改变反应精馏系统的平衡组成，向反应精馏塔内补入氯化氢，抑制由二氯二氢硅为原料生成硅烷，同时氯化氢与二氯二氢硅在催化剂的作用下反应生成三氯氢硅，提高了系统运行的安全平稳性，提高了三氯氢硅的产率，同时提高了二氯二氢硅的回收效率。