一种用于芯片测试机的自动校准方法及其应用
基本信息
| 申请号 | CN202011217240.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112462312B | 公开（公告）日 | 2021-08-06 |
| 申请公布号 | CN112462312B | 申请公布日 | 2021-08-06 |
| 分类号 | G01R35/00 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张经祥;魏津;蒋子凡 | 申请（专利权）人 | 胜达克半导体科技（上海）股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海专益专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 方燕娜;王雯婷 |
| 地址 | 201799 上海市青浦区清河湾路1130号1幢1层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于芯片测试机的自动校准方法及其应用，包括以下步骤：获取芯片测试机的校准数据并根据校准数据绘制散点图；分别计算散点图中相邻的每两点的斜率(斜率数据)；将散点图中散点按照横坐标或纵坐标分为K1和K2两部分；分别针对K1和K2，分别计算第一个斜率数据、前2个斜率数据……所有斜率数据的标准差得到K1和K2的标准差数据组；分别筛选两标准差数据组中的标准差最大值，以该标准差最大值对应的点作为分段点将所有散点分为三段，分别进行曲线拟合得到拟合曲线。本发明的方法，采用斜率标准差法选取分段点，为芯片测试机测试数据的校准提供了一种标准化且可全自动完成的操作标准，极具应用前景。 |
