真空镀膜的自转式工架机构
基本信息
| 申请号 | CN201020669507.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201933148U | 公开（公告）日 | 2011-08-17 |
| 申请公布号 | CN201933148U | 申请公布日 | 2011-08-17 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 许述芝;董永顺 | 申请（专利权）人 | 天津聚瑞林电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 天津市三利专利商标代理有限公司 | 代理人 | 杨红 |
| 地址 | 301721 天津市武清区武清区汊沽港经济园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种真空镀膜的自转式工架机构，包括电机输出轴的主动齿轮及与其啮合的大齿盘，在大齿盘同一圆周上设有若干只工架小齿轮副，工架小齿轮与固定大齿轮啮合，工架小齿轮副的小轴中心孔插接工架，所述大齿盘通过限位导轮与固定大齿轮内圈滑动连接，所述大齿盘通过若干支柱与公转上顶盘连接，其特征是：所述工架上设有工件自转机构。其特征是：所述工架的主轴键接有置于底盘上方的工件自转机构。有益效果：在真空镀膜的过程中，被镀工件在水平方向持续公转和自转，提高了薄膜质量的稳定性。合格率由30%提高到85%以上。 |
