一种蓝宝石单晶炉分水器

基本信息

申请号 CN202022633765.2 申请日 -
公开(公告)号 CN214060711U 公开(公告)日 2021-08-27
申请公布号 CN214060711U 申请公布日 2021-08-27
分类号 C30B29/20(2006.01)I;C30B11/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 陈宏;郝贵荣;李庆;杜晶;张国威 申请(专利权)人 山西中聚晶科半导体有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 030060山西省晋中市榆次区山西示范区晋中开发区汇通产业园区机械园2号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型一种蓝宝石单晶炉分水器,属于蓝宝石长晶设备领域,包括壳体、底板、电接点压力表、进水短节、排水短节和若干个出水阀,壳体为中空长方体形状,壳体和底板固定相连,电接点压力表设置在壳体的顶端,出水阀沿壳体高度的方向分布排列,进水短节和排水短节设置在壳体的下侧。本实用新型拥有竖立的长方体外型,底板可以通过螺栓固定在底面,占地面积小,还具有移动方便和维修简单的优点。