一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置

基本信息

申请号 CN202022754757.3 申请日 -
公开(公告)号 CN214736213U 公开(公告)日 2021-11-16
申请公布号 CN214736213U 申请公布日 2021-11-16
分类号 C30B29/20(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 陈宏;郝贵荣;杜晶;梁浩;张国威;李庆 申请(专利权)人 山西中聚晶科半导体有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 030060山西省晋中市榆次区山西示范区晋中开发区汇通产业园区机械园2号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置,包括长度调节杆,长度调节杆的两侧设置有与坩埚内壁贴合的弧形弹性支撑部。弧形弹性支撑部包括固定相连的第一弧形片和第二弧形片,两个弧形片可以形成可受力的弹簧板,当受力超出弹簧板范围会发生形变,从而保证坩埚不会被从内部撑开而损伤坩埚,两根杆体,中间可以对接在一起,通过中间的螺丝扣转动,调节长度调节杆的长度,受力作用在坩埚内壁,然后即可以转动坩埚,微调坩埚的位置,使坩埚四周的距离在允许的误差范围内。本实用新型结构简单,制作成本低,减少坩埚操作中的人工成本,提高蓝宝石晶体生长质量。