一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置
基本信息
申请号 | CN202022754757.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214736213U | 公开(公告)日 | 2021-11-16 |
申请公布号 | CN214736213U | 申请公布日 | 2021-11-16 |
分类号 | C30B29/20(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 陈宏;郝贵荣;杜晶;梁浩;张国威;李庆 | 申请(专利权)人 | 山西中聚晶科半导体有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 030060山西省晋中市榆次区山西示范区晋中开发区汇通产业园区机械园2号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置,包括长度调节杆,长度调节杆的两侧设置有与坩埚内壁贴合的弧形弹性支撑部。弧形弹性支撑部包括固定相连的第一弧形片和第二弧形片,两个弧形片可以形成可受力的弹簧板,当受力超出弹簧板范围会发生形变,从而保证坩埚不会被从内部撑开而损伤坩埚,两根杆体,中间可以对接在一起,通过中间的螺丝扣转动,调节长度调节杆的长度,受力作用在坩埚内壁,然后即可以转动坩埚,微调坩埚的位置,使坩埚四周的距离在允许的误差范围内。本实用新型结构简单,制作成本低,减少坩埚操作中的人工成本,提高蓝宝石晶体生长质量。 |
