一种蓝宝石单晶炉波纹管位移装置

基本信息

申请号 CN202023302102.9 申请日 -
公开(公告)号 CN214736214U 公开(公告)日 2021-11-16
申请公布号 CN214736214U 申请公布日 2021-11-16
分类号 C30B29/20(2006.01)I;C30B15/30(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 陈宏;郝贵荣;张国威;杜晶;梁浩;李庆 申请(专利权)人 山西中聚晶科半导体有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 030060山西省晋中市榆次区山西示范区晋中开发区汇通产业园区机械园2号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型一种蓝宝石单晶炉波纹管位移装置,属于蓝宝石长晶技术领域;本装置包括支撑座、第一支撑杆、第二支撑杆、弧型支撑部和第一螺栓,第一螺栓与支撑座可旋转地连接,第一螺栓与第一支撑杆的一端枢接,第一支撑杆的另一端与第二支撑杆的一端枢接,第二支撑杆的另一端与弧型支撑部枢接,弧型支撑部用于对波纹管进行夹持,使位于波纹管内部的籽晶杆朝一个方向倾斜。本装置能够对波纹管内的籽晶杆进行推移,从而使蓝宝石晶锭脱离坩埚,以保证晶体的热应力充分释放。