一种蓝宝石单晶炉波纹管位移装置
基本信息
申请号 | CN202023302102.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214736214U | 公开(公告)日 | 2021-11-16 |
申请公布号 | CN214736214U | 申请公布日 | 2021-11-16 |
分类号 | C30B29/20(2006.01)I;C30B15/30(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 陈宏;郝贵荣;张国威;杜晶;梁浩;李庆 | 申请(专利权)人 | 山西中聚晶科半导体有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 030060山西省晋中市榆次区山西示范区晋中开发区汇通产业园区机械园2号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型一种蓝宝石单晶炉波纹管位移装置,属于蓝宝石长晶技术领域;本装置包括支撑座、第一支撑杆、第二支撑杆、弧型支撑部和第一螺栓,第一螺栓与支撑座可旋转地连接,第一螺栓与第一支撑杆的一端枢接,第一支撑杆的另一端与第二支撑杆的一端枢接,第二支撑杆的另一端与弧型支撑部枢接,弧型支撑部用于对波纹管进行夹持,使位于波纹管内部的籽晶杆朝一个方向倾斜。本装置能够对波纹管内的籽晶杆进行推移,从而使蓝宝石晶锭脱离坩埚,以保证晶体的热应力充分释放。 |
