一种蓝宝石籽晶研磨装置
基本信息
申请号 | CN202110879089.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113732889A | 公开(公告)日 | 2021-12-03 |
申请公布号 | CN113732889A | 申请公布日 | 2021-12-03 |
分类号 | B24B19/22(2006.01)I;B24B57/02(2006.01)I;B24B55/06(2006.01)I;B24B55/12(2006.01)I;B24B41/04(2006.01)I | 分类 | 磨削;抛光; |
发明人 | 李庆;王慧远;梁浩;张国威;杜晶;王沛杰;李建宁 | 申请(专利权)人 | 山西中聚晶科半导体有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 030060山西省晋中市榆次区山西示范区晋中开发区汇通产业园区机械园2号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开一种蓝宝石籽晶研磨装置,包括水箱,水箱内盛有研磨液,水箱上设有吸尘入口;籽晶,籽晶上设有用于与籽晶杆固定的凹槽;砂轮机,设置在水箱内,砂轮机的砂轮用于打磨籽晶,打磨时,砂轮的下部没入研磨液,砂轮的上部将研磨液及粉尘甩入吸尘入口;吸尘装置,吸尘装置设有第一吸管,第一吸管的入口与吸尘入口相连接,吸尘装置用于对研磨粉尘进行收集,对进入其中的空气进行过滤。本发明中的水箱中内盛有研磨液,可供砂轮一部分浸泡在研磨液中,使砂轮湿润,保护蓝宝石籽晶和金刚砂轮,提高了籽晶研磨的准确度,降低粉尘和噪音污染。 |
