一种PECVD尾气处理装置
基本信息
| 申请号 | CN201520322291.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204786450U | 公开（公告）日 | 2015-11-18 |
| 申请公布号 | CN204786450U | 申请公布日 | 2015-11-18 |
| 分类号 | F23G7/06(2006.01)I | 分类 | 燃烧设备；燃烧方法; |
| 发明人 | 王健;李子良;王占;刘钰;付向良 | 申请（专利权）人 | 晶澳光伏科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州知友专利商标代理有限公司 | 代理人 | 李海波 |
| 地址 | 055550 河北省邢台市宁晋县新兴路东侧、北外环南侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种PECVD尾气处理装置，包括PECVD尾气进气管、与所述PECVD管的末端相连且底部设有检修口的燃烧筒、净化塔以及连接所述燃烧筒和所述净化塔的燃烧筒排气管，其特征在于：所述的PECVD尾气进气管上设有CDA吹扫旁通管；所述的检修口处设有粉尘清理收集装置。本实用新型的装置可简化PECVD尾气燃烧处理后，对燃烧筒的二氧化硅粉尘的清理过程，减轻对环境的污染及对人体的危害。 |
