一种适用于光刻机设备外壳的结构
基本信息
| 申请号 | CN202020890908.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211741834U | 公开（公告）日 | 2020-10-23 |
| 申请公布号 | CN211741834U | 申请公布日 | 2020-10-23 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 吴阳;严振中 | 申请（专利权）人 | 赫智科技（苏州）有限公司 |
| 代理机构 | 北京同辉知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 赫智科技（苏州）有限公司 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市工业园区若水路388号H402室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种适用于光刻机设备外壳的结构，包括光学面包板、设备门、顶板和外壳，光学面包板和顶板分别设置在外壳的底部和顶部位置，设备门可移动的连接设置在外壳的前端面位置上，外壳的内部左右两侧均设置有挡板，液压机构固定设置在外壳上，液压机构的驱动端通过伸缩臂与设备门驱动连接设置，顶板的底部位置设置有转轴，连杆的底部和顶部分别与转轴和设备门铰接。本实用新型一种适用于光刻机设备外壳的结构，结构简单，防尘、易于安装和拆卸；本实用新型的开门结构采用液压上下开合方式，有效的节省了空间。 |
