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一种无掩模板光刻装置

基本信息

申请号 CN202010337223.2 申请日 -
公开（公告）号 CN111458987A 公开（公告）日 2020-07-28
申请公布号 CN111458987A 申请公布日 2020-07-28
分类号 G03F7/20(2006.01)I 分类 -
发明人 严振中;吴阳 申请（专利权）人 赫智科技（苏州）有限公司
代理机构 北京同辉知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 赫智科技（苏州）有限公司
地址 215000江苏省苏州市工业园区若水路388号H402室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种无掩模板光刻装置，包括光学面包板，光学面包板的一侧设置有光源支撑板，光源支撑板上设置有光源模组，光学面包板上设置有光学引擎模组，贴合于光源模组且还位于同一轴线，光源模组的光源输出端连通至光学引擎模组的光源进入端，光学引擎模组的光源输出端上设置有镜筒，与光学引擎模组呈垂直设置，镜筒连通至第一反射镜模组，光学面包板上设置有第二反射镜模组，与第一反射镜模组相对间隔设置，光学面包板上设置有照明支撑板，与第二反射镜模组相对，且在照明支撑板和第二反射镜模组之间设置有导向轴，与第一反射镜模组和镜筒构成平行设置，成像模组穿接在导向轴上，呈竖直设置。本发明能依据需求进行任意改动，方便其灵活性。