一种氧化锌基气敏材料的制备方法、制得的气敏材料及其应用
基本信息
| 申请号 | CN202011170541.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112345599A | 公开（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申请公布号 | CN112345599A | 申请公布日 | 2021-02-09 |
| 分类号 | G01N27/12(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 杨正 | 申请（专利权）人 | 微纳感知（合肥）技术有限公司 |
| 代理机构 | 合肥市浩智运专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 叶濛濛 |
| 地址 | 230088安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼16层1608-1610室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种氧化锌基气敏材料的制备方法，涉及MEMS气体传感器技术领域，包括以下步骤：(1)锌源溶液的配制；(2)取有机碱溶液滴加到锌盐溶液中，搅拌，超声分散，得到浊液；(3)将浊液置于50‑90℃烘箱中静置反应1‑24h，即制得氧化锌基气敏材料。本发明还提供上述制备方法制得的氧化锌基气敏材料及其应用。本发明的有益效果在于：本发明制备方法简单，无昂贵的设备投入，易批量化生产，制备方法绿色能耗低。制得的化锌基气敏材料、MEMS敏感芯片、MEMS气体传感器用于对硫化氢气体的检测具有灵敏度高、选择性好，响应恢复时间短、检测范围宽的优点。 |
