一种悬梁结构流量传感器
基本信息
| 申请号 | CN202022545974.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213714430U | 公开（公告）日 | 2021-07-16 |
| 申请公布号 | CN213714430U | 申请公布日 | 2021-07-16 |
| 分类号 | G01F1/56（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张岩;邹子纯;周睿颖 | 申请（专利权）人 | 微纳感知（合肥）技术有限公司 |
| 代理机构 | 合肥市浩智运专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张景云 |
| 地址 | 230088安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼16层1608-1610室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种悬梁结构流量传感器，属于微电子机械系统技术领域，包括悬梁结构、第一金属薄膜极板、第二金属薄膜极板；所述悬梁结构包括感流区域和多个悬臂；多个所述悬臂均匀布设在感流区域四周，所述悬梁结构上布设所述第一金属薄膜极板，所述第一金属薄膜极板与第二金属薄膜极板之间具有高度差，气流作用于悬梁结构，使悬梁结构携带第一金属薄膜极板做靠近或远离第二金属薄膜极板的弯曲变形。通过将悬梁结构设计成中央感流，四周悬臂为连接臂，可以实现感流面大，提高灵敏度，同时提供悬梁结构的机械强度；由于多个悬臂均匀布置在感流区域的四周，可保证悬梁的规则变形，避免因变形不规则导致悬梁损坏。 |
