双层悬梁结构流量传感器及应用其的控制电路
基本信息
| 申请号 | CN202021809176.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212963498U | 公开（公告）日 | 2021-04-13 |
| 申请公布号 | CN212963498U | 申请公布日 | 2021-04-13 |
| 分类号 | G01F1/56(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 陈栋梁;张岩;薛峰 | 申请（专利权）人 | 微纳感知（合肥）技术有限公司 |
| 代理机构 | 合肥市浩智运专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张景云 |
| 地址 | 230088安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼16层1608-1610室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型双层悬梁结构流量传感器及应用其的控制电路，自下至上依次包括衬底、下层绝缘介质层、下层金属极板、锚区、上层绝缘介质层、上层金属极板；衬底开设有第一窗口，下层绝缘介质层开设有释放第一窗口的第二窗口；第二窗口横跨有第一悬臂梁，第一悬臂梁两端固定；上层绝缘介质层向第一窗口水平延伸出第二悬臂梁，下层金属极板的第一触点上方。开设的第一窗口，形成气流通道，为第二悬臂梁的变形提供基础，基于第一悬臂梁为两端固定，不会受到气流的影响而变形，仅仅只有第二悬臂变形，实现两个悬臂间的间距发生变化，从而实现电容值的变化，满足流量传感器的测量需求，流量传感器灵敏度高；该流量传感器整体结构简单，易制作。 |
