一种WO3气敏材料的制备方法、制得的气敏材料及其应用

基本信息

申请号 CN202110212084.5 申请日 -
公开(公告)号 CN113030196A 公开(公告)日 2021-06-25
申请公布号 CN113030196A 申请公布日 2021-06-25
分类号 G01N27/12 分类 测量;测试;
发明人 吴秋菊;高陈;胡文利;荣钱;姚冬婷;杨正;张伟;项小婷 申请(专利权)人 微纳感知(合肥)技术有限公司
代理机构 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 代理人 叶濛濛
地址 230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼16层1608-1610室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种WO3气敏材料的制备方法,涉及MEMS气体传感器技术领域,本发明包括以下步骤:将钨酸钠进行酸化处理,酸化处理时采用的酸浓度为1‑8mol/L,控制溶液的H+浓度为0.001‑3mol/L,然后将混合反应体系进行稳定处理,稳定处理结束后,将产物进行清洗、干燥,然后进行热处理,即获得WO3气敏材料。本发明还提供采用上述方法制得的WO3气敏材料及其应用。本发明的有益效果在于:本发明制得的WO3气敏材料对三甲胺具有较高的响应值,对50ppm的三甲胺响应值最高可达到83,相对于常见的气体检测,具有很好的选择性。对10ppm浓度的三甲胺具有较高的灵敏度。