一种多检测电极的悬臂梁气体传感器
基本信息
| 申请号 | CN202010266510.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111380918B | 公开（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申请公布号 | CN111380918B | 申请公布日 | 2021-03-23 |
| 分类号 | G01N27/00(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 陈栋梁;谢东成;荣钱;许磊 | 申请（专利权）人 | 微纳感知（合肥）技术有限公司 |
| 代理机构 | 合肥市浩智运专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张景云 |
| 地址 | 230088安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼16层1608-1610室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种多检测电极的悬臂梁气体传感器，包括悬臂梁，在所述悬臂梁上集成多个检测电极，多个检测电极分布在悬臂梁的不同位置，所述悬臂梁的不同位置温度不同。本发明多检测电极的气体传感器，多对检测电极分别分布在悬臂梁的不同位置，由于悬臂梁温度分布呈梯度变化，因此每一对检测电极所在区域的温度不同，即使使用同样的气敏材料，在气体来临时，每一对检测电极上获得的气体响应不同，可用于一定程度上的气体识别。 |
