微透镜母模
基本信息
| 申请号 | CN201921285663.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210666081U | 公开（公告）日 | 2020-06-02 |
| 申请公布号 | CN210666081U | 申请公布日 | 2020-06-02 |
| 分类号 | G02B3/00(2006.01)I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 黄玲玲 | 申请（专利权）人 | 北京万应科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京信诺创成知识产权代理有限公司 | 代理人 | 北京万应科技有限公司 |
| 地址 | 100029北京市朝阳区北土城西路3号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型实施例公开了一种微透镜母模，包括：衬底、金属连接层和多排金属半球部，每排金属半球部包括多个金属半球，相邻两排金属半球部的间距与相邻金属半球的间距相等，所述金属半球与金属连接层一一对应，所述金属半球通过金属连接层固定在衬底上。利用本实用新型实施例不仅能够简化制作工艺，还可采用常规半导体加工工艺实现高精度、高密度和高占空比微透镜母模的制造，大大降低生产成本，同时还可采用高温真空回流技术，使金属半球表面光滑如镜，大大降低金属半球的粗糙度。 |
