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微透镜母模制造方法及微透镜母模

基本信息

申请号 CN201910729833.4 申请日 -
公开（公告）号 CN112346153A 公开（公告）日 2021-02-09
申请公布号 CN112346153A 申请公布日 2021-02-09
分类号 G02B3/00(2006.01)I 分类 光学;
发明人 黄玲玲 申请（专利权）人 北京万应科技有限公司
代理机构 北京信诺创成知识产权代理有限公司 代理人 刘金峰
地址 100029北京市朝阳区北土城西路3号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明实施例公开了一种微透镜母模制造方法及微透镜母模，包括：在衬底上沉积金属连接层；在金属连接层上涂敷光刻胶；在所述光刻胶上光刻图形，形成光刻图像；蚀刻金属连接层，将相邻光刻图像之间的金属连接层去除；去除光刻胶；将金属球体植在金属连接层上；对金属球体进行高温真空回流处理，形成金属半球，所述金属半球的外径与光刻图像的半径相等；所述金属半球降温固化，得到微透镜母模。利用本发明实施例不仅能够简化制作工艺，还可采用常规半导体加工工艺实现高精度、高密度和高占空比微透镜母模的制造，大大降低生产成本，同时还可采用高温真空回流技术，使金属半球表面光滑如镜，大大降低金属半球的粗糙度。