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微透镜母模制造方法及微透镜母模

基本信息

申请号 CN201910729842.3 申请日 -
公开（公告）号 CN112346154A 公开（公告）日 2021-02-09
申请公布号 CN112346154A 申请公布日 2021-02-09
分类号 G02B3/00(2006.01)I 分类 光学;
发明人 黄玲玲 申请（专利权）人 北京万应科技有限公司
代理机构 北京信诺创成知识产权代理有限公司 代理人 刘金峰
地址 100029北京市朝阳区北土城西路3号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明实施例公开了一种微透镜母模制造方法及微透镜母模，包括：在衬底上涂敷光刻胶；在所述光刻胶上光刻图形，形成光刻窗口；在所述光刻窗口内电镀预定金属，形成金属柱；其中，光刻窗口的直径与金属柱直径相等；去除光刻胶；对金属柱进行高温真空回流处理，形成金属半球；所述金属半球降温固化，得到微透镜母模。利用本发明实施例不仅能够简化制作工艺，还可采用常规半导体加工工艺实现高精度、高密度、高占空比微透镜母模的制造，大大降低生产成本，同时还可采用电镀和高温真空回流技术使金属半球表面光滑如镜，大大降低金属半球的粗糙度，实现超低粗糙度制造，而且易于清洁和再生，可适应各种微透镜母模的制造，适用性广。